material-testing.com.vn
  • Trang chủ
  • Giới thiệu
  • Sản phẩm
    • Buồng thử nghiệm môi trườngBuồng thử nghiệm môi trường
    • Kính hiển viKính hiển vi
      • Kính hiển vi đo lườngKính hiển vi đo lường
      • Kính hiển vi huỳnh quangKính hiển vi huỳnh quang
      • Kính hiển vi kim tương soi ngượcKính hiển vi kim tương soi ngược
      • Kính hiển vi kim tương soi thẳngKính hiển vi kim tương soi thẳng
      • Kính hiển vi kỹ thuật sốKính hiển vi kỹ thuật số
      • Kính hiển vi lực nguyên tửKính hiển vi lực nguyên tử
      • Kính hiển vi luyện kimKính hiển vi luyện kim
      • Kính hiển vi quang học 3DKính hiển vi quang học 3D
      • Kính hiển vi soi nổiKính hiển vi soi nổi
      • Kính hiển vi tia X 3DKính hiển vi tia X 3D
    • Lò nungLò nung
      • Lò nung cảm ứngLò nung cảm ứng
      • Lò nung điện trởLò nung điện trở
      • Lò nung vi sóngLò nung vi sóng
    • Máy phân tích thành phần nguyên tốMáy phân tích thành phần nguyên tố
      • Máy đo nhiễu xạ tia XMáy đo nhiễu xạ tia X
      • Máy phân tích cầm tayMáy phân tích cầm tay
      • Máy quang phổMáy quang phổ
    • Máy phân tích tín hiệu và dữ liệuMáy phân tích tín hiệu và dữ liệu
      • Máy phân tích dữ liệu mạngMáy phân tích dữ liệu mạng
      • Máy phân tích tín hiệu âm thanhMáy phân tích tín hiệu âm thanh
      • Máy phân tích tín hiệu vô tuyếnMáy phân tích tín hiệu vô tuyến
      • Máy phân tích video và hình ảnhMáy phân tích video và hình ảnh
    • Thiết bị đo cơ lý tính vạn năngThiết bị đo cơ lý tính vạn năng
      • Máy đo chỉ số dòng chảy của nhựaMáy đo chỉ số dòng chảy của nhựa
      • Máy đo độ cứngMáy đo độ cứng
      • Máy đo độ dẻoMáy đo độ dẻo
      • Máy kéo nén vạn năngMáy kéo nén vạn năng
      • Máy kiểm tra độ bền gấpMáy kiểm tra độ bền gấp
      • Máy kiểm tra độ bền va đậpMáy kiểm tra độ bền va đập
      • Máy kiểm tra độ xoắnMáy kiểm tra độ xoắn
      • Máy thí nghiệm mài mònMáy thí nghiệm mài mòn
      • Máy thử uốnMáy thử uốn
    • NDTNDT
      • Máy quyét hình ảnh hạt từ tínhMáy quyét hình ảnh hạt từ tính
      • Máy quét kiểm tra bằng X quangMáy quét kiểm tra bằng X quang
      • Máy quét kiểm tra bằng sóng siêu âmMáy quét kiểm tra bằng sóng siêu âm
      • Chụp các lớpChụp các lớp
      • Camera kính hiển viCamera kính hiển vi
    • Sinh họcSinh học
      • Kit
    • Thiết bị chuẩn bị mẫuThiết bị chuẩn bị mẫu
    • Thiết bị đo lường bán dẫnThiết bị đo lường bán dẫn
    • Tùy chọn phụ kiệnTùy chọn phụ kiện
  • Phương pháp test
    • Bề mặt
    • Độ bền kéo
    • Độ cứng
    • Độ dẻo
    • Linh hoạt
    • Ma sát
    • Nén
    • Phân tích nguyên tố
    • Phân tích tín hiệu
    • Quét
    • Uốn
    • Va chạm
    • Vi mô
  • Vật liệu
    • Cao su
    • Đá
    • Gỗ
    • Hợp kim
    • Kim loại
    • Linh kiện
    • Nhựa
    • Tín hiệu
    • Tổng hợp
    • Vật liệu dệt
    • Vật liệu kết dính
    • Vật liệu sinh học
    • Vật liệu y tế
  • Hãng sản xuất
    • Angelatoni
    • Bruker
    • Data physic
    • EchoENG
    • EchoLAB
    • Elvatech
    • GBC
    • Linn high therm
    • LTF
    • Prescott
    • Tektronics
    • Tinius Olsen
    • Yxlon
  • Tin tức
  • Liên hệ
  • Tiếng Việt
    • Tiếng Việt
    • English
Twitter Email YouTube linkedin
Menu
material-testing.com.vn
Facebook Twitter Google Email Pinterest
Trang chủThiết bị đo lường bán dẫn DSM8 Gen2 Metrology System

DSM8 Gen2 Metrology System

Alignment Metrology for R&D and High-Volume Production

The SUSS DSM offers front-to-back side measurements for a broad range of applications and substrates. Results specify shift, rotation and run-out components of the offset vector. The system requires a remarkably small footprint and by that low cost of ownership. At the same time, it provides reliable and extremely accurate metrology for double-sided alignment and exposure applications, which are frequently used in the manufacturing of MEMS devices, power semiconductors and optoelectronics.

Phương pháp test
 
  • Mô tả
  • Đánh giá (0)
Mô tả

Highlights

≤ 0.2 µm measurement accuracy

Double-side or single-side alignment measurement

Optional IR illumination

High throughput and small footprint deliver low cost of ownership

Customized substrate handling solutions available

Accurate metrology for double-sided substrates

SUSS MicroTec has more than 40 years of experience in double-side lithography processes. The processing of double-sided substrates requires an accurate measurement to verify front-to-back side alignment. The DSM8 Gen2 metrology equipment is a recipe-based system and automatically measures and calibrates itself, with manual substrate loading and unloading. This ensures high performance independent of operator’s skills. The fully automated DSM200 Gen2 also features a robotic substrate handling system with customized handling options available, including unique measurement chucks. Optional IR illumination function enables through-silicon measurement capability.

Precise Dual Microscope Metrology 

Using a single microscope and looking through a substrate suffers the systematic offsets due to light diffraction and mechanical tolerances. SUSS DSM eliminates this by using double microscope technology to look at alignment features directly and without movement.  This system also incorporates Cognex PatMax® image analysis software that delivers optimum precision with industry-proven stability.

Accuracy via TIS Compensation 

Eliminating mechanical tool induced shift (TIS) is required for optimum measurement accuracy. The SUSS DSM achieves this by comparing the measurement result of the substrate at 0° with the result at 180°. Image registration of the rotated target images, and accurate offset calculation is performed with the capabilities of Cognex PatMax®.

Đánh giá (0)

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Chỉ những khách hàng đã đăng nhập và mua sản phẩm này mới có thể đưa ra đánh giá.

Danh mục: Thiết bị đo lường bán dẫn
Share
Facebook Twitter Google Email Pinterest

Sản phẩm tương tự

VEM 200 Series
Close

VEM 200 Series

Lò nung cảm ứng, Máy kiểm tra độ bền va đập, Máy phân tích cầm tay, Máy phân tích tín hiệu âm thanh, Máy phân tích tín hiệu vô tuyến, Máy thí nghiệm mài mòn, Thiết bị đo lường bán dẫn
Tinius Olsen, Yxlon
dsm200 gen2
Close

DSM200 Gen2 Metrology System

Thiết bị đo lường bán dẫn

CÔNG TY TNHH GIẢI PHÁP DỊCH VỤ TỰ ĐỘNG THÔNG MINH VIỆT NAM
(CÔNG TY VISAS)
Địa chỉ: 6 Mạc Thái Tổ, Phường Yên Hòa, Quận Cầu Giấy, Hà Nội, Việt Nam.
Hotline : +84 386198984

Email     : info2@visasltd.com

Contact
close slider

    LIÊN HỆ/CONTACT







    • Trang chủ
    • Giới thiệu
    • Sản phẩm
      • Buồng thử nghiệm môi trườngBuồng thử nghiệm môi trường
      • Kính hiển viKính hiển vi
        • Kính hiển vi đo lườngKính hiển vi đo lường
        • Kính hiển vi huỳnh quangKính hiển vi huỳnh quang
        • Kính hiển vi kim tương soi ngượcKính hiển vi kim tương soi ngược
        • Kính hiển vi kim tương soi thẳngKính hiển vi kim tương soi thẳng
        • Kính hiển vi kỹ thuật sốKính hiển vi kỹ thuật số
        • Kính hiển vi lực nguyên tửKính hiển vi lực nguyên tử
        • Kính hiển vi luyện kimKính hiển vi luyện kim
        • Kính hiển vi quang học 3DKính hiển vi quang học 3D
        • Kính hiển vi soi nổiKính hiển vi soi nổi
        • Kính hiển vi tia X 3DKính hiển vi tia X 3D
      • Lò nungLò nung
        • Lò nung cảm ứngLò nung cảm ứng
        • Lò nung điện trởLò nung điện trở
        • Lò nung vi sóngLò nung vi sóng
      • Máy phân tích thành phần nguyên tốMáy phân tích thành phần nguyên tố
        • Máy đo nhiễu xạ tia XMáy đo nhiễu xạ tia X
        • Máy phân tích cầm tayMáy phân tích cầm tay
        • Máy quang phổMáy quang phổ
      • Máy phân tích tín hiệu và dữ liệuMáy phân tích tín hiệu và dữ liệu
        • Máy phân tích dữ liệu mạngMáy phân tích dữ liệu mạng
        • Máy phân tích tín hiệu âm thanhMáy phân tích tín hiệu âm thanh
        • Máy phân tích tín hiệu vô tuyếnMáy phân tích tín hiệu vô tuyến
        • Máy phân tích video và hình ảnhMáy phân tích video và hình ảnh
      • Thiết bị đo cơ lý tính vạn năngThiết bị đo cơ lý tính vạn năng
        • Máy đo chỉ số dòng chảy của nhựaMáy đo chỉ số dòng chảy của nhựa
        • Máy đo độ cứngMáy đo độ cứng
        • Máy đo độ dẻoMáy đo độ dẻo
        • Máy kéo nén vạn năngMáy kéo nén vạn năng
        • Máy kiểm tra độ bền gấpMáy kiểm tra độ bền gấp
        • Máy kiểm tra độ bền va đậpMáy kiểm tra độ bền va đập
        • Máy kiểm tra độ xoắnMáy kiểm tra độ xoắn
        • Máy thí nghiệm mài mònMáy thí nghiệm mài mòn
        • Máy thử uốnMáy thử uốn
      • NDTNDT
        • Máy quyét hình ảnh hạt từ tínhMáy quyét hình ảnh hạt từ tính
        • Máy quét kiểm tra bằng X quangMáy quét kiểm tra bằng X quang
        • Máy quét kiểm tra bằng sóng siêu âmMáy quét kiểm tra bằng sóng siêu âm
        • Chụp các lớpChụp các lớp
        • Camera kính hiển viCamera kính hiển vi
      • Sinh họcSinh học
        • Kit
      • Thiết bị chuẩn bị mẫuThiết bị chuẩn bị mẫu
      • Thiết bị đo lường bán dẫnThiết bị đo lường bán dẫn
      • Tùy chọn phụ kiệnTùy chọn phụ kiện
    • Phương pháp test
      • Bề mặt
      • Độ bền kéo
      • Độ cứng
      • Độ dẻo
      • Linh hoạt
      • Ma sát
      • Nén
      • Phân tích nguyên tố
      • Phân tích tín hiệu
      • Quét
      • Uốn
      • Va chạm
      • Vi mô
    • Vật liệu
      • Cao su
      • Đá
      • Gỗ
      • Hợp kim
      • Kim loại
      • Linh kiện
      • Nhựa
      • Tín hiệu
      • Tổng hợp
      • Vật liệu dệt
      • Vật liệu kết dính
      • Vật liệu sinh học
      • Vật liệu y tế
    • Hãng sản xuất
      • Angelatoni
      • Bruker
      • Data physic
      • EchoENG
      • EchoLAB
      • Elvatech
      • GBC
      • Linn high therm
      • LTF
      • Prescott
      • Tektronics
      • Tinius Olsen
      • Yxlon
    • Tin tức
    • Liên hệ
    • Tiếng Việt
      • Tiếng Việt
      • English
    Scroll To Top